كتلة التيتانيوم الهدف

الشوائب في المواد الصلبة في كتلة التيتانيوم المستهدفة والأكسجين والرطوبة في المسام هي المصادر الرئيسية للتلوث في الأفلام المودعة. أهداف التطبيقات المختلفة لها متطلبات مختلفة لمحتويات شوائب مختلفة. على سبيل المثال ، تتمتع أهداف سبيكة الألمنيوم النقية والألومنيوم لصناعة أشباه الموصلات بمتطلبات خاصة للمحتوى المعدني القلوي ومحتوى العناصر المشعة.

من أجل تقليل المسام في المواد الصلبة المستهدفة وتحسين أداء الأفلام المتدلية ، عادة ما يكون الهدف مطلوبًا لكثافة عالية. لا تؤثر كثافة الهدف فقط على معدل الثرثرة ، بل تؤثر أيضًا على الخصائص الكهربائية والبصرية للفيلم. كلما زادت الكثافة المستهدفة ، كان أداء الفيلم أفضل. بالإضافة إلى ذلك ، تتيح زيادة كثافة وقوة الهدف للهدف لتحسين مواجهة الضغوط الحرارية لعملية الثرثرة. تعتبر الكثافة أيضًا واحدة من مؤشرات الأداء الرئيسية للمواد المستهدفة وحجم الحبوب وتوزيع حجم الحبوب.
عادةً ما يكون الهدف هو بنية البلورات ، يمكن أن يكون حجم الحبوب من ميكرون إلى ملليمتر. لنفس النوع من الهدف ، يكون معدل الثرثرة للهدف مع الحبوب الدقيقة أسرع من الهدف مع الحبوب الخشنة ؛ وتوزيع سماكة الفيلم المودع عن طريق التلاشي للهدف مع اختلاف صغير في حجم الحبوب (التوزيع الموحد) أكثر اتساقًا.